催化燃燒有機廢氣凈化設備是典型的氣-固相催化反應，其實質是活性氧參與的#氧化作用。在催化氧化過程中，催化劑的作用是降低活化能，同時催化劑可使用有機廢氣在較低的起燃溫度條件下，發生無焰氧化，并氧化分解CO2和H2O，同時放出大量熱能，從而達到去除廢氣中的有害物的方法。