采用高壓發生器形成低溫等離子體在大量電子作用下，使通過凈化器的苯、甲苯、二甲苯等有機廢氣分子轉化成各種活性粒子，與活空氣中的O?結合生成CO? 、H?O等低分子無害物質，使廢氣得到凈化。經過長期的研究發現，當化學物質通過吸收能量（熱能、光子能量、電離），可以使自身的化學性質變得更活躍甚至被裂解，當吸收的能量大于化學鍵能，既可使化學鍵斷裂，形成游離的帶有能量的原子或基團。